隧道洁净室的基本模型
隧道洁净室最初是由洁净工作台隧道发展改进而来的，如把垂直于方向长如隧道的洁净空间的一个横截面。但是这和在现场把洁净工作台连起来的洁净隧道又不同，由于有空调进风并可调节其与净化送风的比例，故可实现隧道内的温度调节。由于室内排气要穿过工作台循环，则对台面仍有污染的可能，而且在界面处的诱导也是难免的，所以这种形式即使用0.1um高效过滤器，保持10级也有一定困难。于是将工作台隧道置于全面回风的洁净室内，虽然上述问题得到一定解决，但可以看到隧道的回风是参与全室回风的，则前述由于回风速度不均匀而产生的偏流等影响将发生，当然还有不经济以及一些使用上的问题，所以隧道内保持洁净级别也不容易。
为了改善回风穿过工作台和共用回风道的情况，提出了另一种方案，即将工作台隧道置于乱流洁净室中，而回风口在乱流洁净室中央。两方案的差别是在空凋方案上。
责任编辑：风聆
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